自動ニュース作成G
ラピダスが目指す「全枚葉式」はイケてるか、国内製造装置大手に聞いてみた
https://xtech.nikkei.com/atcl/nxt/column/18/00138/021901470/
2024-02-21 19:33:54
＞Rapidus（ラピダス、東京・千代田）が「どこよりも速い」半導体製造を実現する道筋を少しずつ明らかにしている。軸となるのは「全枚葉式」。すべての工程においてシリコンウエハーを1枚ずつ処理する枚葉式で、製造装置を統一する手法だ。〜これまでは工程ごとに、バッチ式か枚葉式かを選んで使ってきた。どの工程をどちらの方式にするかは、半導体メーカーのノウハウである。つまり、これまでも1枚1枚処理する枚葉式は使われていた。ラピダスが他社と違うのは「最初から最後まで枚葉式でやる」という点である。ラピダスが掲げる全枚葉式のメリットの1つは、処理時間が短縮できるというものだ。
CPUで例えればキャッシュなどの緩衝機構を設けずにフルパイプラインで処理するイメージかな?実際は例えばバイト単位の処理でもキャッシュやバッファで8バイトなどに纏められて処理される
・よくわからんががんばれ
・製造の速さより歩留まり改善の方が重要だとは思うけれど、技術的な事はよく分からん。まあ頑張れ！興味深い情報を共有してくれたニュー作に感謝
・ちなみに不良品って、もう一回溶かして再利用とかするのかな？
・メモリビジネスでもやるつもりなのか？と思ったけどこれhttps://www.publickey1.jp/blog/17/ibm100200.htmlがやりたいのか ＞「1ロット25枚の場合でサイクルタイムを4割短縮できる」
・熱処理装置と真空装置を枚葉にする？？？