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引火性危険物で冷却しないといけない露光機 EUVによる露光プロセスの推移
https://ascii.jp/elem/000/004/135/4135509/
2023-05-22 18:02:52
＞ArF(フッ化アルゴン)光源だとミラーで方向を変え、レンズを使って光を収束できるので、見かけは綺麗に収まることになる。ところがEUVの場合、波長が短すぎるためにレンズにあたるものが現状製造できない。
＞欠損などが生じた場合のゴミの除去のために、気体を吹き込んでやる必要がある。実際に上の画像を見ると黄色で囲った部分、あきらかに吸気/換気をするための仕組みが用意されているのがわかる。
＞この気体であるが、なんと水素ガスを使っているとのことである。水素では屈折率は1.028と空気に近いうえ、空気そのものだとEUVをかなり吸収してしまうのに、水素なら吸収率が低いためである。
・日本語が乱れているなあ。校正は入っているのか？
・＃1具体的にどこが？教えてほしい
・幅は小さいではなく「狭い」、パターンは小さいではなく「細かい」、波長は大きいではなく「長い」。とか。
・空気を充填してる訳じゃないのに、空気と屈折率が近くても意味無いでしょうに。ホントは真空との比較じゃないの？
・#4 「EUV露光装置の内部は真空」という以前の説明は正しくなく、実際は波長が短くなって吸収率が高くなると空気が使えないし、屈折率が変わると清浄空気環境で調整した焦点設定がくるってしまうから水素を充填するようにしたんじゃないの？
・#5 吸収率の高い空気は焦点調整時だろうが使えないでしょ。焦点調整時真空もしくは水素充填下でやるべきでは？
・吸収率が高いからって露光ができないだけで調整ができないわけでもないかもしれないし。100Wだ200Wだとかいうそんな大出力で調整しないんじゃないか？レーザー出力が調整できるものかもよくわからんけど。
・#7 運用時と違う条件で調整する意味がない。で、調整できてるかの確認どうやってするつもり？ナノオーダーなんだから、実際の露光具合でしか確認できんと思うが。
・じゃあ真空はいいわけ？真空と水素じゃずいぶん違うかと。運用時と違う条件で調整する意味がない。
・真空と水素で何が違うと？屈折率？吸収率？
・#10 同じでしたね。すみませんでした。
・真空中や水素雰囲気中でどうやって鏡を調整するんだ？